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X軸(驅(qū)動部)
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測量范圍
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50mm
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分辨率
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0.05μm
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長度基準
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線性編碼器
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驅(qū)動速度
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0-20mm/s
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測量速度
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0.02-5mm/s
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移動方向
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向后
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直線度
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0.2μm/50mm
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定位
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±1.5°（傾角，有DAT功能），30mm（向上/向下）
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檢測器
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范圍/分辨率
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800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm
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檢測方法
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無軌/有軌測量
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測力
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4mN或0.75mN
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測針針尖
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金剛石,90o/5μmR(60o/2μmR)
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導(dǎo)頭曲率半徑
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40mm
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導(dǎo)頭壓力
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小于400mN
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類型
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差動電感式
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尺寸(WxDxH)
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425x94x160mm
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重量
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主機2.7kg
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連接裝置3.8kg
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評估能力
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適用標準
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JIS\'82,JIS\'94,JIS\'01,ISO,ANSI,VDA
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評估輪廓
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P(原始輪廓),R(表面粗糙度曲線),DIN4776,粗糙度曲線motif
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評價參數(shù)
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Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2
Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制)
Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI)
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分析圖表
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ADC、BAC、功率譜圖
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評價曲線
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斷面曲線、粗糙度曲線、DF曲線、波紋曲線表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲線
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解析圖表
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負荷曲線、振幅分布曲線
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曲線補償
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拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補償、無補償
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濾波類型
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2CR,PC75,高斯
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截止波長
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lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm
ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm無濾波器
lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm無濾波器
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取樣長度
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0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm;
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數(shù)據(jù)補償功能
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傾斜補償、R平面（曲面）補償、橢圓補償、拋物線補償、雙曲線補償、二次曲線自動補償、多項式補償、多項式自動補償
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