惰性氣體氧氣氫氣純化器
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產(chǎn)品名稱:
惰性氣體氧氣氫氣純化器
產(chǎn)品型號(hào):
9NP氣體純化器廠家
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
惰性氣體氧氣氫氣純化器9NP系列高性能氣體凈化器采用常溫催化技術(shù)，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)和物理吸附相結(jié)合，在常溫下將工藝氣體中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等雜質(zhì)去除至1ppb以下。此外，316L不銹鋼內(nèi)膽內(nèi)置過(guò)濾精度為0.003微米的顆粒過(guò)濾器，內(nèi)表面經(jīng)過(guò)電化學(xué)拋光處理。
惰性氣體氧氣氫氣純化器 的詳細(xì)介紹
惰性氣體氧氣氫氣純化器
9NP系列高性能氣體凈化器采用常溫催化技術(shù)，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)和物理吸附相結(jié)合，在常溫下將工藝氣體中的H2O、O2、CO、CO2、H2、NMHC等雜質(zhì)去除至1ppb以下。此外，316L不銹鋼內(nèi)膽內(nèi)置過(guò)濾精度為0.003微米的顆粒過(guò)濾器，內(nèi)表面經(jīng)過(guò)電化學(xué)拋光處理。主要用于氦氣、氖氣、氬氣、氪氣、氙氣的凈化，可以大大去除氣體中含有的氧氣、氮?dú)?、氫氣、二氧化碳、碳氧化物、碳?xì)浠衔铩⑺入s質(zhì)。為ICP-MS、ICP-MS、原子吸收光譜、氣相色譜、液相色譜、GC-MS等提供高純度惰性氣體。以確保良好的惰性氣氛。
惰性氣體氧氣氫氣純化器產(chǎn)品特性
常溫下流量范圍1-2000slm的出口氣體雜質(zhì)含量小于1ppb，內(nèi)置0.003微米316L SS過(guò)濾器的316L SS EP凈化罐100%氦檢漏，可配置二閥、三閥、四閥等閥門(mén)組件，可原廠認(rèn)證回收CE。使用成本低。
惰性氣體氧氣氫氣純化器純化指標(biāo)
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氣體類型*
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可純化氣體*
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去除雜質(zhì)
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純化指標(biāo)
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惰性氣體-I
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N2, Ar, He, Xe, Ne, Kr
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H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC
|
<1ppb
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氧氣-O
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O2, CDA
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H2O, CO2, NMHC
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氫氣-H
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H2
H2與惰性氣體混合氣
|
H2O, O2, CO, CO2, NMHC
|
*表格中僅列出典型的氣體類型和常見(jiàn)的可純化氣體，更多氣體純化應(yīng)用請(qǐng)與埃登威聯(lián)系。
惰性氣體氧氣氫氣純化器型號(hào)說(shuō)明
|
產(chǎn)品型號(hào)
|
常規(guī)流量
(slm)
|
*大壓力
(MPa)
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*大壓差
(MPa)
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顆粒過(guò)濾器
(μm)
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進(jìn)/出氣口接頭
|
進(jìn)出氣口距離
L
|
純化器外徑
D
|
|
9NP001
|
1
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/4” MVCR
|
3.3”
(84mm)
|
1.5”
(38.1mm)
|
|
9NP003
|
3
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/4” MVCR
|
4.5”
(114mm)
|
1.5”
(38.1mm)
|
|
9NP005
|
5
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/4” MVCR
|
5”
(127mm)
|
1.5”
(38.1mm)
|
|
9NP030
|
30
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/4” MVCR
|
6.3”
(160mm)
|
2”
(50.8mm)
|
|
9NP050
|
50
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/4” MVCR
|
7.9”
(202mm)
|
3”
(76.2mm)
|
|
9NP300
|
300
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/4” MVCR
|
17.3”
(440mm)
|
4”
(101.6mm)
|
|
9NP300-8L
|
500
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/2” MVCR
|
20.0”
(508mm)
|
4”
(101.6mm)
|
|
9NP999
|
1000
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
1/2” FVCR
1/2” MVCR
|
28.2”
(716mm)
|
6”
(152.4mm)
|
|
9NP1999S
|
2000
|
1.0
|
0.1
|
0.003
|
3/4” MVCR
|
50.8”
(1290mm)
|
6”
(152.4mm)
|
表格中僅列出標(biāo)準(zhǔn)流量、指標(biāo)和配置，更多特殊要求請(qǐng)與埃登威聯(lián)系。
惰性氣體氧氣氫氣純化器產(chǎn)品應(yīng)用
集成電路制造 半導(dǎo)體分立器件制造 硅片、襯底、外延片生產(chǎn) LED、激光器制造 高效太陽(yáng)能電池生產(chǎn) 光纖預(yù)制棒生產(chǎn) 眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套 超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn) 吹掃氣體、載氣及零點(diǎn)氣體純化 大學(xué)和研究所等科研機(jī)構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)
氫氣凈化裝置的工作原理:采用非蒸散性鋯鋁合金16吸氣劑作為凈化劑。吸氣劑主要由Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等金屬間化合物組成。它具有高活性和低擴(kuò)散活化能。氣體吸附在表面時(shí)，在一定溫度下會(huì)很容易擴(kuò)散到體內(nèi)，具有吸雜率高、吸雜量大的特點(diǎn)?；罨?，它能在*佳吸氣溫度范圍內(nèi)有效吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水。
